檢索結果：共7筆資料 檢索策略： "氧".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="有機金屬化學氣相沉積法"
個人化服務 ：
排序：
每頁筆數：
已勾選0筆資料
1
使用[(CH3CH2)C5H4]2Ru 以及[OCH(CH3)2]4 Ti 當前驅物，使用冷壁式有機金屬化學氣相沉積系統成長二氧化釕(RuO2)以及金紅石結構之二氧化鈦(R-TiO2)奈米晶體並將二…
2
使用[(CH3CH2)C5H4]2Ru以及[OCH(CH3)2]4 Ti當前驅物，於冷壁式有機金屬化學氣相沉積系統中成長二氧化釕以及二氧化鈦奈米晶體並將二氧化釕奈米柱直接成長於二氧化鈦奈米柱上，並利…
3
本論文主要利用化學氣相沉積方式合成氧化銥/氧化釕奈米桿為感測材料在石英感測晶片上的金電極進行沉積，用XRD與FESEM分析氧化銥/氧化釕的薄膜表面結構。其次以QCM 質量式感測器針對有機揮發化合物(…
4
在我們改良有機金屬化學氣相沉積系統的氧氣環和噴頭後，得到的二氧化銥結果有明顯的改善了均勻性和再現性，並且已成功在SA(100)和SA(012)基板上使用兩種不同的前驅物(C6H7)(C8H12)Ir…
5
利用垂直流冷壁式的有激金屬化學汽相沈積法，我們已成功地在不同基板上成長出二氧化銥一維奈米晶體（包含奈米柱與奈米管）與薄膜。同時也藉由場發射掃瞄式電子顯微術(FESEM)、X光繞射術(XRD)與拉曼散…
6
使用[(CH3CH2)C5H4]2Ru當前驅物，於冷壁式有機金屬化學氣相沉積系統中成長二氧化釕奈米結構，其沉積在不同平面之基板上有不同的成長方向。使用場發射掃描式電子顯微鏡、X光繞射譜線，對二氧化釕…
7
本次論文研究主要是以使用Ti[OCH(CH3)2]4當前驅物，於垂直冷壁式有機金屬化學氣相沉積(MOCVD)系統中成長垂直成長二氧化鈦(Titanium dioxide，TiO2)奈米晶體。首先藉由…